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产品先容
产品先容
NF-300M Supra-H装备是我公司自主研发的应用于新一代三维闪存（3D-NAND）生产线上的叠层薄膜沉积装备。。 。。。 。应用于3D-NAND闪存芯片的生产。。 。。。 。浚�？？？？？墒迪諷iO2、SiN多层薄膜堆叠结构，，，，，在匀称性、颗粒度、粗糙度、应力及产能等方面实现手艺突破，，，，，装备性能指标达同类产品水平。。 。。。 。
产品特点
1. 高产能设计和可实现多种薄膜沉积的快速切换。。 。。。 。
2. 可实现多层SiO2、SiN（ONON)堆叠功效。。 。。。 。
3. PM腔内可举行多片wafer沉积和wafer自动升降旋转功效。。 。。。 。
4. 通过S2清静认证。。 。。。 。
