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产品系列
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产品先容
产品先容
VS-300T 为九州酷游官网net自主研发的ALD原子层沉积装备。。。。。VS-300T 系列产品可搭载4个反应腔 ，，，，，结构紧凑 ，，，，，同时知足高产能需求 ，，，，，具有优异坪效比及CoO。。。。。该系列产品可沉积高质量的SiO、SiN、TiO薄膜 ，，，，，在匀称性、颗粒度、台阶笼罩率等方面抵达国际领先水平 ，，，，，知足逻辑、存储等客户先进手艺节点要求。。。。。
- ALD薄膜在高深宽比（20:1）情形下台阶笼罩率可抵达95%
可搭载4个反应腔的高坪效比的新型五边形装备
优异工艺性能 ，，，，，具有优异的匀称性和保形性
通过S2清静认证和E47标准磨练
