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九州酷游官网net公司自主研制的海内首台12英寸PEALD装备通过客户验收

2018-09-30

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2018年9月尾，，，，，，由沈阳九州酷游官网net�？？？？萍加邢薰咀灾餮兄频�12英寸原子层沉积（Atomic Layer Deposition，，，，，，ALD）装备通过了客户的验收。。。。。。。

ALD装备是集成电路制备历程中要害的薄膜沉积装备，，，，，，被视为先进半导体工艺手艺生长的要害环节之一。。。。。。。九州酷游官网net公司基于已通过生产验证的高产能PECVD装备平台，，，，，，乐成研制了海内首台量产型12英寸ALD装备，，，，，，并迅速推向市场！！！�。。。�，，，可应用于28nm以上极大规模集成电路，，，，，，OLED及先进封装（TSV）领域，，，，，，投入先进生产线，，，，，，用于沉积SiO2，，，，，，SiNx等绝缘薄膜。。。。。。。该装备已乐成进入试生产线审核验证，，，，，，历时3个多月，，，，，，通过了客户的审核验收，，，，，，装备各项性能指标均知足要求，，，，，，且抵达或凌驾了国际同类产品的先进水平，，，，，，这是我国在实现半导体装备国产化历程中的又一重大突破。。。。。。。

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